Druckluft (CDA) dient als grundlegende Energiequelle, die sich durch Waferfertigung, Fotolithografie und Ätzen, Verpackung & Prüfung sowie die Leiterplattenverarbeitung in der gesamten Elektronik- und Halbleiterindustriekette erstreckt. Als Kernausrüstung für die Luftversorgung wirken sich Luftkompressoren direkt auf die Chipausschussrate und die Stabilität der Produktionslinie aus. Die Branche fordert ölfreie Kompressoren, die den Standards ISO 8573-1 Klasse 0 entsprechen.

Bei der Wafer-Vorbereitung liefern ölfreie Kompressoren ultrareine Luftströme, um nach dem Schneiden von Siliziumbarren und dem Polieren von Wafern submikrongroßen Staub abzublasen. Selbst feinster Ölnebel kann einen isolierenden Film auf Siliziumwafern bilden und nachfolgende Schaltkreisfehler auslösen. Daher muss der Gesamtölgehalt der Luftversorgung unter 0,01 mg/m³ gehalten werden. Fotolithografie, Ätzen und Dünnschichtabscheidung bilden die Kernprozesse der Fertigung. Luftkompressoren treiben Präzisionszylinder und pneumatische Kammerventile von Lithografieanlagen an. Ein stabiler Luftdruck gewährleistet eine Positionierung der Waferstufen auf Nanometerebene, wobei die Druckschwankung innerhalb von ±0,05 bar begrenzt bleibt, um eine Verschiebung der Schaltungsmuster zu verhindern. Gleichzeitig schützt Druckluft mit niedrigem Taupunkt (≤ -40℃) optische Linsen und vermeidet eine durch kondensierte Feuchtigkeit verursachte Abschwächung der Laserenergie.

In Verpackungs- und Prüfarbeitsbereichen versorgen Luftkompressoren Die-Bonder, Wire-Bonder und automatische Sortieranlagen mit Energie. Hochreine Luft bläst Verunreinigungen von den Bondpads weg, um kalte Lötstellen und Kurzschlüsse zu vermeiden. Während der Einbrenntests von Chips gewährleistet ein gleichmäßiger sauberer Luftstrom genaue elektrische Testdaten. Für die Leiterplatten- und SMT-Verarbeitung unterstützt Druckluft die Ansaugung von Bestückungsautomaten, die Leiterplattenreinigung und das Spülen von Reflow-Öfen; ölfreie Luft verhindert die Oxidation und Verunreinigung elektronischer Komponenten.

Halbleiterproduktionslinien arbeiten rund um die Uhr. Ölfreie Schrauben- und Zentrifugalkompressoren liefern vibrationsarme und frequenzvariable stabilisierte Druckluftausgabe. Ausgestattet mit mehrstufigen Präzisionsfiltern und Tiefentrocknungseinheiten kontrollieren sie drei Hauptverunreinigungen: Öl, Wasser und Partikel. Im Gegensatz zu allgemeinen Industrie-Luftkompressoren beseitigen spezielle Halbleiter-Modelle die Schmierstoffverschmutzung bereits an der Quelle und reduzieren das Risiko von Waferverschrottungen erheblich. Als unverzichtbare präzise Hilfsausrüstung für fortschrittliche Prozessfabriken schaffen sie eine solide Grundlage für die Luftversorgung einer stabilen Massenproduktion von Chips und eine Verbesserung der Qualität.