Eine Vakuumpumpe ist ein Gerät, das Gas aus einem verschlossenen Behälter absaugen kann, um ein Vakuum zu erzeugen und aufrechtzuerhalten. Es wird häufig in der wissenschaftlichen Forschung und in der Industrie eingesetzt, um verschiedene Vakuumumgebungen bereitzustellen.
Die Funktionsprinzipien von Vakuumpumpen variieren und umfassen hauptsächlich die folgenden Typen:
1.Positive Verdränger-Vakuumpumpe: Das Volumen der Pumpenkammer ändert sich periodisch, um den Ansaug- und Absaugvorgang abzuschließen. Dieser Pumpentyp wird in zwei Typen unterteilt: Hubkolben- und Drehschieberpumpen. Kolbenvakuumpumpen nutzen die Hin- und Herbewegung des Kolbens zum Ansaugen, Komprimieren und Ausstoßen von Gas; Drehschieber-Vakuumpumpen nutzen den rotierenden Rotor zum Ansaugen und Komprimieren von Gas.
2.Trockenvakuumpumpe: verwendet kein Öl oder andere Flüssigkeiten als Dichtungsmedium, geeignet für Umgebungen, die ein ölfreies, sauberes Vakuum erfordern, wie z. B. Halbleiterätzprozesse usw.
3.Flüssigkeitsring-Vakuumpumpe:Wenn sich der Rotor dreht, schleudert er Flüssigkeit (z. B. Wasser oder Öl) in das Pumpengehäuse, um konzentrische Flüssigkeitsringe zu bilden, die mehrere kleine Volumina bilden, die sich periodisch mit den Rotorblättern ändern, um Sog und Kompression zu erreichen.
4.Roots-Vakuumpumpe: Sie ist mit zwei Rotoren ausgestattet, die sich synchron in entgegengesetzte Richtungen drehen. Zwischen den Rotoren und zwischen den Rotoren und der Innenwand des Pumpengehäuses wird ein gewisser Spalt eingehalten. Es handelt sich um eine rotierende Vakuumpumpe mit variabler Verdrängung.
5. Impulsübertragungspumpe: Verlässt sich auf schnell rotierende Schaufeln oder Hochgeschwindigkeitsstrahlen, um den Impuls auf Gasmoleküle zu übertragen und so eine kontinuierliche Übertragung des Gases vom Pumpeneinlass zum Auslass zu erreichen. Ein Beispiel für diesen Pumpentyp ist die Molekularvakuumpumpe.
6.Jet-Vakuumpumpe: nutzt den von einem Hochgeschwindigkeitsstrahl erzeugten Impuls, um Gas zum Auslass zu transportieren. Es kann sich um eine Flüssigkeitsstrahl-, Gasstrahl- oder Dampfstrahl-Vakuumpumpe handeln.
Vakuumpumpen sorgen für die notwendige Vakuumumgebung und ermöglichen den reibungslosen Ablauf vieler industrieller Prozesse und wissenschaftlicher Experimente. Sie gehören zu den unverzichtbaren Geräten der modernen Industrie und wissenschaftlichen Forschung.